低溫等離子體中除氣體分子、離子和電子外，還有電中性原子或原子團(tuán):
       低溫等離子體中除氣體分子、離子和電子外，還有電中性原子或氧自由基，由于這種氧自由基是電中性的，其存在時間較長，并且在低溫等離子體中的數(shù)量比離子多，所以氧自由基在低溫等離子體中起著重要作用。自由基團(tuán)的作用主要是化學(xué)反應(yīng)過程中能量轉(zhuǎn)移的“激活”，處于受激態(tài)的氧自由基具有高能量，這樣容易與物件表面分子結(jié)合，就會產(chǎn)生新的氧自由基，而新形成的氧自由基則處于非穩(wěn)定高能態(tài)，當(dāng)轉(zhuǎn)變成更小的分子時，很有可能發(fā)生分解反應(yīng)，從而產(chǎn)生新的氧自由基，這個反應(yīng)過程可能會繼續(xù)，最終分解為水、二氧化碳等簡單的分子，而在其他情況下，氧自由基與物件表面的分子結(jié)合時，而這種能量也是引發(fā)新的表面反應(yīng)的驅(qū)動力，由此引發(fā)物件表面的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而除去。

       由于受到物件表面的沖擊作用，會促使吸附在物件表面的氣體分子被分解和吸附，而大量電子碰撞則有利于化學(xué)反應(yīng)。因?yàn)殡娮拥馁|(zhì)量非常小，所以比離子運(yùn)動得更快。在低溫等離子體處理過程中，電子到達(dá)物件表面的時間比離子早，并且表面帶負(fù)電荷，這有利于引發(fā)進(jìn)一步的反應(yīng)。